Yarıiletken Fabrikaları ve Analitik Laboratuvarlar için Elektropolished Yüzeyli ve Partikül İzlemeli Ultra Yüksek Saflıkta Bir İnçlik Daha Hafif Gaz Vanası

Bu parçacık kontrolü, kirliliğe duyarlı ortamlar için hassas tasarlanmıştır.bir inç daha hafif gaz valfiKritik gaz dağıtım sistemlerinde bütünlüğü sağlar.yüksek saflık gaz valfiYarı iletken işlem gazları için Sınıf 1/ISO 2 partikül standartlarına ulaşır. Kendini hizalayan konik mühürleme tasarımı, metal ile metal temasını ortadan kaldırır ve 100 yıl boyunca parçacık oluşumunu önler.000+ hareketiÖnemli bir...Laboratuvar gaz vanalı, 1x10−9 atm-cc/sec He'ye kadar helyum sızdırmazlığı sağlamlığı için VCR tarzı yüz mühürleri içerir ve arsin ve silan gibi özel gazlar için ppb seviyesinde saflık sağlar.Çökecek olmayan PTFE sap mühürleri ve sıfır ölü bacak konfigürasyonu SEMI F72 standartlarını karşılar. Kurulum sırasında ISO 14644-1 Sınıf 3 uyumluluğunu in-situ doğrulama için entegre partikül izleme portları içerir.

Bullet Points:
✓Nanoskala Temizlik: <5 parçacık >0,1μm litre başına (IEST RP CC001.6 başına)
✓Bülbül sıkılıklı mühürleme: 1x10−9 atm-cc/s'lik helyum sızıntı hızı
✓Korrozyona karşı bağışıklık: ASTM A967 nitrik asit yöntemine göre pasifler
✓titreşimsiz çalışma: Anti-resonans sapı tasarımı
✓Fab-proven: SEMI F72 uyumluLaboratuvar gaz vanalı

Uygulama Senaryosu:
Bir yarı iletken temiz odasında, teknisyenler, 5nm çip imalatı gaz hattının devreye girmesi sırasında sıfır kirliliği doğrulamak için parçacık sayaçları kullanarak valfler kurarlar.

Sıkça sorulan sorular:

S: Bu yüksek saflıklı gaz valfi ile birlikte hangi parçacık sertifikası geliyor?
A: IEST-CC0016 Sınıf 1 raporları 0.1-5.0μm parçacık dağılım verileri ile.

S:Laboratuvar gaz vantileriZehirli dopantlarla uyumlu mu?
A: Evet, tamamen malzeme uyumluluğu ile SEMI S2 Kategorisi 1 gazları için tasarlanmıştır.

S: Süreç kesintisi olmadan parçacık izlemesini entegre edebilir miyim?
C: Evet, örnek limanları ISO 14644-1 uyumlu in-situ doğrulama sağlar.

S: Dış gazlama performansı nedir?
A: NASA-STD-6001B başına <1x10−9 g/cm2/sec TML/CVCM.

S: Tesiste kirlenme kontrol protokollerini sağlıyor musunuz?
A: ISO 14644-5 uyumlu ayrıntılı kurulum kitleri mevcuttur.