Elektronik bileşen temizleme sistemleri için ultra saf kontrolü olan anti-kirlilik ölçümlü valf

Yarı iletkenler ve devre kartları kullanan elektronik bileşen temizleme sistemleri için özel olarak tasarlanan Ölçülü Vanamız, kirlenmeyi önlerken ultra saf temizleme sıvısı kontrolü sağlar. Vana, hassas yarı iletkenlere zarar verebilecek partikül dökülmesini (≤1 partikül/mL, ≥0.5μm) önlemek için Ra 0.05μm polisajlı ve PFA kaplamalı ultra saf bir iç boşluğa sahiptir.

DI suyu (18.2MΩ*cm) ve IPA ile uyumlu olan vana, SEMI F021 elektronik temizleme standartlarını karşılayan perfloroelastomer contalar kullanır. 0.1-10mL/dak arasında değişen hassas akış kontrolü ve ±%0.1 hata toleransı ile mikro bileşen temizleme gereksinimlerine mükemmel uyum sağlar. Anti-kirlilik tasarımı, temizleme sıvısı ile hava temasını önlemek için kapalı döngü akışını içerir ve optimum saflık seviyelerini korur.

• PFA kaplamalı ultra saf boşluk (Ra 0.05μm), ≤1 partikül/mL kirlilik kontrolü sağlar
• DI suyu/IPA uyumlu perfloroelastomer contalar SEMI F021 standartlarını karşılar
• Hassas akış kontrolü (0.1-10mL/dak, ±%0.1 hata) mikro elektronik bileşenlere uyum sağlar
• Kapalı döngü akış tasarımı, hava temasına engel olarak temizleme sıvısı saflığını korur
• Otomatik işlemler için ultrasonik temizleme makineleriyle uyumludur